probe radius
- 基础释义 纠错
- 释义
探头半径
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1、
以SiO2为掩模，SF6刻蚀硅，用RIE与各向同性湿法化学腐蚀相结合使悬臂梁探针一次成形和用湿法腐蚀锐化探针，针尖半径约50nm。
来源：互联网摘选
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